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Auf der Suche nach Fehlern: die Optoingenieurin Katja Grobe.

Foto: Privat

Katja Grobes Tag beginnt mit dem Umkleiden. Sie zieht sich einen weißen dünnen Overall über und setzt ein weißes Mützchen auf. Die Straßenschuhe tauscht sie gegen spezielle Schuhe. „Wir arbeiten im Reinraum“, erklärt die Ingenieurin. „Da müssen selbst kleinste Staubpartikel draußen bleiben.“ Ihr Arbeitgeber ist die Firma Carl Zeiss SMS GmbH in Jena, die Geräte herstellt, mit denen Unternehmen der Halbleiterindustrie so genannte Photomasken prüfen und reparieren können. Photomasken sind Glasplatten mit Strukturen aus einer dünnen Chromschicht auf der Oberfläche. Sie sind ein wesentliches Element in der Chipherstellung, denn sie enthalten die gesamten Strukturinformationen über den Aufbau und die Funktionsweise eines Mikrochips.

Auf den Nanometer genau

Die Geräte zum Prüfen und Reparieren von Photomasken, die in Jena zusammengebaut werden, sind eigentlich riesengroße Mikroskope. Innen wie außen aus Edelstahl, mehr als vier Quadratmeter Grundfläche und zwei Meter hoch. „Da schaut man nicht mehr mit den Augen hinein, sondern nutzt dazu den Computer.“ In den riesigen Geräten stecken zahlreiche optische Systeme und Komponenten. Katja Grobes Aufgabe ist es, diese zusammenzubauen. Das hört sich trivial an, ist es aber nicht. „Die optischen Komponenten, zum Beispiel Beleuchtungseinheiten, Blenden oder Linsensysteme, müssen jeweils genauestens justiert und kalibriert werden“, erklärt die 31-Jährige. „Ich überprüfe dabei unter anderem die vorgegebenen Werte und führe Abnahmemessungen durch.“ Gefragt ist also höchste Konzentration und Präzision, denn die Geräte arbeiten beim Analysieren und Reparieren im Nanometerbereich.

Wichtig sei es dabei auch, meint Katja Grobe, spezielle Vorschriften zu beachten, wie der Zusammenbau erfolgen muss. Die Photomaske selbst wird mit einem Roboter innerhalb des Gerätes bewegt, denn in das riesige High-Tech-Mikroskop kann man schließlich nicht so einfach hineinklettern. Deshalb müsse man den Roboter programmieren und ihm beispielsweise sagen, wo genau er die Photomaske platzieren soll.

Je nach Gerätetyp kann ein solcher Zusammenbau bis zu zwei oder drei Monate dauern. „Ein Leben ohne Schraubenzieher kann ich mir nicht vorstellen“, sagt Katja Grobe mit einem Lächeln. Eine gewisse Fingerfertigkeit ist ihr dabei in die Wiege gelegt; schon als Kind spielte sie lieber mit Schrauben und Muttern als mit Puppen.

Fehlersuche

„Man muss gerne nach Fehlern suchen wollen und diese dann beheben“, sagt die Ingenieurin, „damit die Kunden später ein Präzisionsgerät erhalten“. Genau dieses tief gehende Verständnis verdankt sie ihrem Masterstudium. Zunächst studierte sie Physikalische Technik an der Fachhochschule Jena und schrieb 2003 ihre Diplomarbeit bei einer Firma, die Augenlaser herstellt. Dabei entwickelte sie einen Prüfstand, mit dem man spezielle optische Kristalle untersuchen kann. Einen Job bekam sie damals aber nicht: „Die Halbleiterindustrie befand sich in einer Krise, es wurde kaum eingestellt.“ Um die Zeit nicht ungenutzt verstreichen zu lassen, entschied sie sich für das Masterstudium „Laser- und Optotechnologien“ an der FH Jena. „Ich habe viel Zusatzwissen erworben und gelernt, einen Blick für das Ganze zu entwickeln“, sagt Katja Grobe und meint damit die komplex aufgebauten Spezialmikroskope. 

Über eine Zeitarbeitsfirma bekam sie schließlich ihren Job bei der Carl Zeiss SMS GmbH. Heute arbeitet sie im Team mit Konstrukteuren und Projektleitern unter anderem an Prototypen und den unterschiedlichsten optischen Systemen. „Entwickler sind auf ein bestimmtes Gebiet spezialisiert, während ich die ganze Bandbreite abdecke und mich zum Beispiel mit Elektronik, Optik, Mechanik oder speziellen Messtechniken beschäftige.“ Teilweise installiert sie die Spezialgeräte auch beim Kunden vor Ort. „Meine erste Dienstreise, die mich nach Kalifornien führte, dauerte knapp acht Wochen.“ Dass sie fließend Englisch spricht, versteht sich dabei von selbst.